Nom : cible de pulvérisation AlSc

N° CAS : 7429-90-5 / 7440-20-2

Formule : Al-Sc (Al:Sc=80:20 at%, Al:Sc=70:30 at% ou compositions personnalisées)

Pureté : 99,9 %-99,99 %

Taille: 6 pouces de diamètre x 0,125 pouces d'épaisseur ou sur mesure

Processus de production:

Fusion par induction sous vide VIM

Usinage avec CNC aux dimensions

Liaison d'indium à une plaque de support en cuivre sans oxygène

La cible de pulvérisation cathodique en aluminium et scandium est un type de matériau de revêtement de film en alliage d'aluminium et de scandium. Par conséquent, ils ont des caractéristiques physiques et chimiques similaires.

Application:

Les cibles de pulvérisation AlSc ont été utilisées pour le revêtement des cloisons et des ailes des avions, et les alliages AlSc ont été utilisés dans divers engrenages rotatifs et mobiles ainsi que dans les carburants et le système d'échappement. Les produits en alliage d'aluminium et de scandium ont un grand potentiel dans l'industrie aérospatiale.

Avec ses caractéristiques exceptionnelles de faible densité mais de haute résistance, l'alliage d'aluminium et de scandium est un produit préféré pour le boîtier extérieur des produits électroniques. En outre, l'utilisation de cibles en aluminium scandium pour recouvrir la surface d'autres matériaux améliore également la durabilité et la longévité du boîtier. En plus du boîtier électronique, des cibles de pulvérisation en alliage d'aluminium et de scandium sont également utilisées pour les composants internes tels que le revêtement des puces semi-conductrices et du capteur.

Application de la cible de pulvérisation AlSc sur MEMS :

Alors que nous passons à la nouvelle ère 5G/6G, en plus de la bande passante et du débit de données, un autre paramètre critique est l'intégrité du signal, qui nécessite une valeur Q élevée. La valeur Q est liée aux propriétés piézoélectriques des matériaux à couche mince utilisés dans l'application. Actuellement, les alliages AlSc sont utilisés, à différents niveaux de Sc, avec une teneur en Sc plus élevée conduisant à des caractéristiques piézo-électriques plus élevées.

Les matériaux piézoélectriques à couche mince AlSc sont de plus en plus présents dans les appareils électroniques automobiles, industriels et personnels. Les applications incluent les capteurs d'empreintes digitales et les dispositifs de reconnaissance de gestes basés sur PMUT, les microphones MEMS, les capteurs chimiques basés sur des résonateurs et les capteurs médicaux. De plus, les films de nitrure d'aluminium dopé au scandium sont de plus en plus nécessaires pour activer les filtres RF pour les applications de réseau 5G.

FAQ :

Quelle est la cible de pulvérisation?

Une cible de pulvérisation cathodique est un matériau qui est utilisé pour créer des films minces dans une technique connue sous le nom de dépôt par pulvérisation cathodique, ou dépôt de film mince. La plupart des matériaux cibles de pulvérisation cathodique sont des éléments ou alliages métalliques, bien qu'il existe des cibles en céramique outils.

La pulvérisation cathodique est une technologie utilisée pour former un film mince sur une plaquette de silicium, du verre ou un autre substrat. Dans un état de vide maintenu dans une machine de pulvérisation, une cible de pulvérisation est bombardée d'ions argon. Cela provoque l'émission d'atomes ou de molécules par la cible de pulvérisation. Les atomes ou molécules se déposent et forment un film mince sur le substrat. Une cible de pulvérisation cathodique est l'objet du bombardement ionique lors de la pulvérisation cathodique.

À quoi sert la cible de pulvérisation cathodique en aluminium et scandium ?

La cible de pulvérisation cathodique AlSc est un type de matériau de revêtement de film en alliage d'aluminium et de scandium. Il est utilisé pour créer un film mince d'Aluminium Scandium qui promet une constante piézoélectrique élevée, environ dix fois plus élevée que l'alliage AlN conventionnel. La cible de pulvérisation cathodique Al-Sc de haute qualité est un matériau essentiel pour produire des ondes acoustiques en vrac (BAW).

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